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          TFT Mask 規(guī)格

          1、Normal Mask size (Unit: mm)

          TFT ARRAY TFT CF
          152.4×152.4×6.4 450×550×5.0
          330×450×5.0 508×609.6×5.0
          390×610×6.0 700×800×8.0
          520×610×10.0 800×920×8.0/10.0
          520×800×10.0 800×960×8.0/10.0
          800×920×10.0 850×1200×10.0
          850×1200×10.0 850×1400×10.0
          1220×1400×13.0 1220×1400×13.0

           

          2、CD Specification (Unit: um)

          Grade GTM C B A
          TFT ARRAY ±0.1 ±0.2 ±0.35 /
          TFT CF 0.2 ±0.35 ±0.50 ±0.75

           

          3、LTPS Mask Specification (Unit: um)

          CD MTT CD Uniformity Registration
          0.1 ±0.1 ±0.3

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